
作者丨Lucas
编辑丨刘恒涛
图源丨灵明光子
SPAD芯片是激光雷达关键的光电探测器,被视为“光子捕手”,即使在极暗环境,也能敏锐捕捉到微弱的光信号,进行环境感知。可以说,SPAD芯片决定了激光雷达的性能,是激光雷达的核心组件之一。
早期SPAD芯片依赖定制化的特殊工艺,工序繁琐、依赖人工,生产效率较低,也拉高了生产成本。
2018年,斯坦福博士臧凯成立灵明光子,基于自己的研究成果,用标准的CMOS工艺生产,成功将SPAD芯片的价格从当时的5000元降至800元,大幅降低了国产激光雷达的成本。2024年,灵明光子迎来激光雷达的市场爆发期,其产品已进入国内头部厂商的供应链,成为多家主流客户的芯片供应商。
作为国内最早将SPAD芯片生产兼容CMOS工艺并实现量产的公司,灵明光子自成立以来,已获得小米科技、欧菲光、OPPO、美团龙珠、高榕创投等机构融资。
1月15日,2025创业邦100未来独角兽荣耀发布,灵明光子成功登榜。
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突破关键技术
打通SPAD产业化路径
臧凯1989年出生于山东东营,一座因中国第二大油田——胜利油田而生的城市。作为一个石油移民城市,这里一切围绕着石油运转。
出生于工人家庭的臧凯,从小痴迷技术,喜欢探究事物背后的底层原理。2007年考入北大后,臧凯学习了大量编程课程,为了弄清楚计算机内部运行机制,他选择了更能触及硬件本质的电子工程系。北大毕业后,臧凯进入斯坦福大学,攻读半导体方向的硕士、博士学位。

按信号处理方式分类,半导体芯片可分为三类:处理电信号的电芯片,比如CPU、GPU;处理光信号的光芯片,比如纯光调制器、光开关等。光电芯片做的是光电互相转换和信号处理。SPAD芯片,就是将光信号转换为电信号的光电芯片。
读博期间,臧凯把研究方向定在光电芯片。这项技术融合了光芯片和电芯片的各自优势,既能利用电芯片进行逻辑运算与分析,又能借助光芯片实现信息的高速、低功耗传输。他预见,随着未来10年云计算、大数据及人工智能的爆发,市场对高速、高效、低耗能的数据传输和处理需求将扩大。这意味着,未来10到20年,光电芯片将在消费市场迎来机遇。
但光电芯片技术在当时过于前沿,尚未出现大规模应用。
为了寻找应用方向,臧凯将实验项目视为其创业项目,用天使投资人的心态和视角来做科研,尝试找出能够产业化的项目。最终,他选择了以各种光电芯片为核心器件的激光雷达。
选择激光雷达,是因为臧凯看到了产业化机会。
2012年,谷歌的无人车开始公开路测,但车顶上的激光雷达,体积大且价格昂贵,单个售价要数万元美元。这使得无人车无法获得大规模应用。行业共识是,激光雷达需要变小、需要降价,才能突破这一瓶颈。
问题在于,激光雷达内部的精密器件,采用“分立组装”工艺。这种方法相当于将每个器件先各自独立制造,再组合一起,导致激光雷达体积很大。此外,这种工艺在制造过程中需要人工逐个组装调试,效率较低,难以量产降本。
臧凯认识到,激光雷达要小型化、低成本,需要对其内部的光电芯片采用新的生产工艺。而要适应这套新工艺,就要对光电芯片的结构进行改良。于是,他开始研究相关改良方法,2017年,臧凯的研究获得突破,研究成果发表在国际学术期刊《Nature Communications》。这项研究成果,被视为SPAD效率和精度平衡的里程碑,为单光子探测芯片产业化开辟了关键路径。
2018年,臧凯回国后,与两位联合创始人创立灵明光子。这两位联合创始人,一位是他在斯坦福时的学长,另一位是荷兰代尔夫特理工大学的博士。他们的目标很明确,要将研究成果进行应用,用成熟的CMOS工艺生产激光雷达芯片。


兼容CMOS
造出百元级激光雷达芯片
激光雷达就像汽车的“超级眼睛”,不仅能感知环境,还能测量物体与车身的距离。它的工作原理是发射激光,再回收反射光,从而计算出环境信息。这其中,SPAD光电芯片专门负责接收光线,并将光信号转换成电信号,非常关键。
SPAD芯片占激光雷达成本的40%,在2017年海外售价高达5000美元。而且,SPAD芯片要正常工作,还要在外围配套一系列器件,导致整个接收模组占据很大的空间。
做体积小、低成本的激光雷达,臧凯采用的是电芯片的CMOS工艺。
CMOS是制造电芯片的生产工艺,是一种成熟的生产技术,能在一块硅基底上一体化集成各种器件,缩小芯片体积。而且,CMOS工艺拥有大量现成的半导体产线可代工,通过批量生产,极大摊薄单个器件的制造成本。而行业主流的SPAD生产,需要定制非标准化的产线,成本高,也难以大规模普及。
用CMOS工艺做SPAD,这条路行业探索已久,却始终走不通。究其原因是,CMOS工艺采用的硅层很薄,在特定光波段下的光子还没被吸收就直接穿过去了。这导致SPAD芯片接收光线的能力较差,也让激光雷达成像变得模糊。
基于臧凯2017年发表的论文思路,灵明光子设计了一种“光捕获”的新型架构:在SPAD芯片表面制作了特殊的纳米结构,改变光子的传播路径。当光子进入后,该结构会将其转为水平方向传播,使得光子在硅层内进行长距离的“跑动”,增加光子被硅材料吸收的概率。这项SPAD生产技术工艺与标准 CMOS 兼容,也意味着基于CMOS工艺,SPAD可单片集成、低成本量产。
同时,为了让“光捕捉”结构兼容进CMOS工艺,臧凯又专门开发了“光刻重排”和“TMAH湿法蚀刻”两项关键工序,用来制造模型并刻在硅层上。
为验证这套理论的可行性,臧凯在斯坦福纳米制造实验室尝试实践,成功制造出具有“光捕获”结构的SPAD芯片。测试数据显示,相比于无“光捕获”版本,该芯片将光转换为电信号的效率提升了3倍。
臧凯将这一设计工艺带回中国,和国内供应链伙伴一起,在现有CMOS产线的基础上进行改良,最终实现“光捕获”结构SPAD芯片的量产交付。
灵明光子成为国内最先使用CMOS工艺量产SPAD芯片的公司。当时,同期的国内企业在使用定制化、非标准的化合物半导体工艺,只能进行小批量生产。臧凯表示:“国内同级别SPAD芯片价格要到1500元,但我们的芯片能降到800元。”
目前,灵明光子最新一代SPAD芯片能生成44万像素的图像。这是主流最高水平,足以覆盖绝大多数激光雷达产品的需求,用于感知和测量周边环境信息,可应用在新能源汽车、无人机、扫地机等产品上。

灵明光子芯片产品图
不过,即使感光能力再强,激光雷达的图像在视觉效果上仍是由颗粒堆砌而成的灰度画面,只能勾勒出物体的轮廓,用于识别物体的空间位置。在成像清晰度上,其无法与摄像头相比较。
但臧凯认为,激光雷达未来趋势是更像摄像头,体积更小、成像更清晰,这是因为机器人、智能驾驶等产品既需要测量环境距离,也要清晰看清周边物体,这样才能安全、稳定地执行任务。而这一切,都有赖于SPAD芯片的不断升级迭代。
灵明光子正在推动激光雷达“摄像头化”,目前正调试200万像素的SPAD芯片,未来规划了800万、1200万、4800万像素的产品,当像素足够清晰,激光雷达能达到摄像头拍摄的效果。比如,它不仅能感知到“那里有一棵树”,还能感知树的复杂形状、每根树枝的走向。

瞄准AR/VR眼镜
提前五年布局
灵明光子的SPAD芯片已搭载在多个头部激光雷达产品上。公司推出了六款芯片型号,其中ADS6311累计出货量超50万颗,预计2026年全年出货达百万颗。据了解,华域电子、亮道智能等客户都将灵明光子作为核心的SPAD芯片的供应商进行技术研发。

ADS6311
公开资料显示,近年来,灵明光子营业收入连续翻倍增长。

在此之前,灵明光子的创业之路不轻松。臧凯也说,在灵明光子成立头几年,日子最难过,因为接不到订单。
2021年,激光雷达的前景仍不明朗。特斯拉坚持其纯视觉方案,导致国内车企对激光雷达路线犹豫不决;消费电子领域也未找到激光雷达的应用场景。
臧凯回忆,那是团队最迷茫的时期,团队曾考虑过放弃这个项目,或者将这项技术应用到其他领域。质疑声不绝于耳:“特斯拉都不用,你们做这个有啥用?”作为负责人,他白天要表现得信心十足,晚上常常一个人为此焦虑。臧凯经常把团队召集一起,希望给予大家更多信心。他让大家想象未来十年,公司产品能用在什么地方。每一次这样交流,团队成员都会有所启发。
臧凯也很感激产业资本给了他们支持,上汽集团和美团就是其中之一。“在行业都不看好的时候,上汽用自有资金投了我们。他们说,‘我们对行业看得很清楚。现在没有订单,但未来一定会有。我们投了钱,也请你们相信我们的判断。’”
转机出现在2023年,以城市NOA为代表的高阶智能驾驶技术落地。面对中国城市路况的复杂性,纯视觉方案在夜间、强光等环境下会被严重干扰,且研发成本大、周期长。而激光雷达成本已大幅下降,且在极端环境下也能识别障碍物,因此多家车企开始将激光雷达作为高端车型的标配。
市场大门打开,灵明光子基于CMOS工艺的芯片方案,因其在成本、可靠性和量产能力上的优势,获得了诸多激光雷达厂商的订单。
在半导体这个技术迭代极快的行业,选准方向几乎决定未来。
在臧凯看来,未来5到10年,世界将进入三维视觉时代,AR/VR眼镜等空间计算设备将迎来发展浪潮。由于部分AR/VR眼镜具备3D空间模型功能,需要通过激光雷达对物理空间的实时测量与定位,并在此基础上实现清晰成像。而激光雷达性能的提升,最终也要落到SPAD芯片的持续升级上。
“要用十年后的思维想问题,提前五年进行布局,在趋势到来时才能站在最前方。”臧凯如今花大量时间思考未来五到十年的路,并对未来充满信心。
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